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往复真空泵的工作原理如图所示。主要部件是气缸1及在其中做往复直线运动的活塞2。活塞的驱动是用曲柄连杆3来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5。
运转时,在电动机的驱动下,通过曲柄连杆机构的作用,使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动肘,由于气缸的左腔体积不断增大,气缸内气体的密度减小,而形成抽气过程,此时容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到zui右位置时,气缸内就*充满了气体。接着活塞从右端向左端运动,此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随着活塞从右向左运动而逐渐被压缩,当气缸内气体的压强达到或稍大于大气压时,排气阀4被打开,将气体排到大气中,完成一个工作循环。当活塞再自左向右运动时,又吸进一部分气体,重复前一循环,如此反复下去,直到被抽容器内达到某一稳定的平衡压力为止。