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库仑法测厚仪丈量方法
库仑法测厚仪丈量方法
依据测头和被测工件外表是不是触摸,可将覆层厚度丈量分为触摸丈量和不触摸丈量。
触摸丈量是测头和被测工件外表直触摸的丈量,并有机械作用力存在,一般成成品和半成品的覆层厚度丈量大多选用触摸丈量。
不触摸丈量是测头和被测工件外表不发生触摸的丈量,并且没有机械作用力存在,如x射线荧光,B射线法等就多用于生产中的不触摸丈量。
从对被测覆层是不是进行损坏看,覆层厚度可分为有损丈量和无损丈量,或称损坏性丈量和非损坏性丈量。
有损丈量分阳极溶解库仑法、光学法(包含覆层断面显微镜丈量、干与法光学设备丈量、偏振光学法设备丈量、扫描电镜丈量)、化学溶解法(包含点滴法、液流法、称重法)。
无损丈量分为磁法、涡流法、射线法、光学法(包含光切法、光电法、双光束干与法等)、电容法、微波法、超声法。