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石英管式微波等离子体装FM-CVD
石英管式微波等离子体装FM-CVD

产品型号: FM-CVD

所属分类:探头

产品时间:2024-07-20

简要描述:石英管式微波等离子体装FM-CVD详细介绍
(一)主要配置:

1、微波频率2.45GHz;足额功率0~500W(基本型)或0~1000W(升级型)连续可调,阳*压、阳极电流足额显示;

2、Φ50mm(基本型)或Φ90mm(升级型)石英管真空室,有一个观察窗和一个诊断窗;

3、石英管采用制冷循环水冷却,保证装置安全运行。

4、配有真

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石英管式微波等离子体装FM-CVD

的详细介绍

(一)主要配置:

1、微波频率2.45GHz;足额功率0~500W(基本型)或0~1000W(升级型)连续可调,阳*压、阳极电流足额显示;

2、Φ50mm(基本型)或Φ90mm(升级型)石英管真空室,有一个观察窗和一个诊断窗;

3、石英管采用制冷循环水冷却,保证装置安全运行。

4、配有真空测量及控制阀门系统;3路工作气体流量控制;

(二)典型实验:

1、等离子体化学气相沉积。A(气)+B(气)→C(固)+D(气)。

反应气体A、B被激发为等离子状态,其活性基团发生反应生成所需要的固态物沉积在基片上,可广泛用于薄膜或纳米材料的合成。如金刚石薄膜、碳纳米材料等。

2、等离子体表面刻蚀。A(气)+B(固)→C(气)。反应气体A被激发为等离子体状态与固体B表面原子发生反应生成气态物C,可用于集成电路的刻蚀实验。

3、等离子体催化反应。等离子体中具有丰富的活性成分,如紫外和可见光子、电子、离子、自由基,高反应性的中性成分如活性原子、受激原子态,从而可以引发在常规化学中不能或很难实现的化学反应。

4、等离子体表面改性。A(气)+B(固)→C(固)。反应气体A被激发为等离子体状态,与固体B表面发生反应,生成新的化合物,从而达到改变B物质表面性质的目的。广泛用于高分子材料、金属材料、生物医用材料的表面改性。

(三)产品特色:

1、 微波系统设计严谨,加工精良,运行时微波准零泄漏,确保使用者人身安全;

2、 微波功率充足,等离子效应强劲,作用效果良好;阳极电压电流足额显示。

3、 样品台升降架精巧豪华,方便调谐和样品取放;

4、 样品台可加热或冷却,有利于控制反应过程。

5、制冷循环水系统践行环保理念,避免用长流水费水扰民。

6、循环水机可联机使用、可独立使用,提高了投资效益;

7、缺水时启动高压或正常工作时断水,系统会断电并报警;

8、真空泵排气口接有油雾过滤器,保护环境;

9、电控系统功能完善、操作灵便、指示醒目;

10、整机造型典雅大气。

(四)辅助设备与耗材(主要由客户另购):

超声清洗机、1000×金相显微镜;硅片、金刚石微粉、氢气、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基衬底的碳膜、模板、石英管 / 板等。

石英管式微波等离子体装FM-CVD

(五)特殊配置(客户提出要求,本厂设计制作,费用双方协商):

1、异型基片台(样品台)

2、上置疹断探针(带透明观察窗)

3、可加热可测温的基片台——可水冷可

出接线端子的基片台支柱——宽行程

精巧豪华升降架——下法兰(总成)

4、基片台加热及温度测控仪

5、可水冷的基片台(带升降架总成)

6、光学镜头(用于联接光谱仪、光度计等)

7、客户提出需求的其它配置



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